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SQM160是利用INFICON石英晶體傳感技術在鍍膜過程中測量沉積速率和膜厚的精密儀器,標準型有兩路傳感器輸入,同時,4路傳感器輸入可選,具體視用戶實際應用而定;雙輸出可以向操作者提供直觀的模擬沉積速率及膜厚信號。在大型系統中,傳感器輸入可以分配給不同材料,采集的數據通過平均值,以達到更精準的沉積控制;也可以設定為雙探頭模式。在高沉積速率過程中,為了延長傳感器的使用壽命,速率采集模式允許探頭帶一個檔板。用戶可以自己選擇0.1?/s 還是0.01?/s的速率顯示模式.另外,還可以選擇頻率或質量顯示模式。SQM160的四路繼電輸出可以用來控制沉積源、探頭檔板、信號時間、膜厚設定值以及晶片失效信號等。 數字輸入可以通過外部信號來對讀數進行開始/停止和清零操作。SQM160石英晶體監測儀采用了RS-232接口和Windows®窗口軟件,可以通過電腦上進行調試安裝。軟件可以用來設置和存儲所有參數,包括儀器操作和保留程序數據到特定的Excel®文檔。同時,USB或以太網選項也添加通信協議中,以超大程度方便不同用戶。
便于使用
高精度,低成本
產品特點:
產品規格:
QCM傳感器輸入 標準型: 2;路 可選: 4路 頻率范圍 1-10 MHz 頻率分辨率 標準型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec 可選: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec 頻率穩定性 在 0o to 50oC,總計± 2 ppm 可選擇的測量周期 0.10 to 2 sec (每級增量0.05 sec) 測量選擇 1 to 20 readings 存儲膜系 99 模擬輸出 2路0 to 10 VDC輸出, 沉積速率 & 膜厚 數字輸入/輸出 2 路數字輸入, 4路繼電輸出 數字接口 標準型: RS-232 可選: USB or 以太網 電源 0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W CE 標識 Class 1 equipment 73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD 安裝支架 1/2-rack cabinet, 3-1/2" high, 89 x 213 x 197mm (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4") 重量 2.7 Kg (6 lbs) Windows軟件(included) 提供遠程安裝和操作指導,數據錄入功能 定貨信息 附件 782-900-008 單臺SQM-160 19"安裝支架 782-900-014 雙臺SQM-160 19"安裝支架 782-502-062 4傳感器輸入擴展卡 (將標準型2路擴展到6路) 782-900-042 高分辨率選件(此項需在工廠中完成安裝) 782-900-040 USB選擇卡 782-900-041 以太網選擇卡
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