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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹:
INFICON 發(fā)揮其在氣體分析過(guò)程控制設(shè)備領(lǐng)域的專長(zhǎng),制造的 RGA 擁有業(yè)內(nèi)**的數(shù)據(jù)采集速度、*低可檢測(cè)分壓和*小的信噪比。所有這些特性都不會(huì)犧牲 INFICON Transpector 氣體分析儀一貫出色的可靠性。
詳情介紹:
Transpector MPH 殘余氣體分析儀
監(jiān)控您的過(guò)程
****的性能有助于提高產(chǎn)量并實(shí)現(xiàn)*長(zhǎng)運(yùn)行時(shí)間
持續(xù)升高的硅晶圓價(jià)格和成品需求意味著損壞晶圓的代價(jià)比以前更高。因此,在半導(dǎo)體制造中心了解過(guò)程并監(jiān)測(cè)缺陷也變得更加重要。Transpector MPH 氣體分析系統(tǒng)專門用于讓您的系統(tǒng)在所有氣體分析應(yīng)用中都實(shí)現(xiàn)業(yè)內(nèi)**的性能,有助于*大限度地提高芯片產(chǎn)量,降低工具停工時(shí)間。Transpector MPH 兼具較低總體擁有成本和較長(zhǎng)故障平均間隔時(shí)間的特性,有助于讓您的盈虧底線優(yōu)于市場(chǎng)上的所有其他殘余氣體分析儀 (RGA)。
INFICON 發(fā)揮其在氣體分析過(guò)程控制設(shè)備領(lǐng)域的專長(zhǎng),制造的 RGA 擁有業(yè)內(nèi)**的數(shù)據(jù)采集速度、*低可檢測(cè)分壓和*小的信噪比。所有這些特性都不會(huì)犧牲 INFICON Transpector 氣體分析儀一貫出色的可靠性。
功能
- 模擬掃描和所選峰值的 1.8 ms *高每點(diǎn)數(shù)據(jù)率
- TCP/IP 以太網(wǎng)連接
- 雙絲極
- 可現(xiàn)場(chǎng)更換電子倍增器
- 組合陽(yáng)極、陰極和反射極絲極套件
- 較短的傳感器可降低安裝占地面積
- 九個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)量程
- <2E-15 Torr 的 MDPP(100 amu 型號(hào))
- 信噪比更高
- 可調(diào)換傳感器和電子元件
- 傳感器在潔凈室環(huán)境中裝配、測(cè)試并進(jìn)行雙層包裝
- 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)