INFICON UL6000 氦氣檢漏儀旨在滿足*為苛刻的泄漏檢測應用的要求。UL6000 采用經過領域驗證的真空設計，內置 INFICON 磚利軟件算法 I-CAL 和 Hydro-S，可以為測試提供靈活性和高靈敏度以及快速、精準的測試結果，確保任何泄漏檢測應用均可快速、輕松地完成。

UL6000 在所有測試范圍內均可實現(xiàn)快速響應，從達到測試條件到獲得*終結果的周期時間極其短暫。此專門設計的真空架構可以提供持續(xù)高速的氦氣泵速以及極其快的響應，能夠滿足您的需求。

好處

1，HYDRO-S （HYDROgen-Suppression） 能夠快速達到測試條件。

2，UL6000 晶圓廠 - 附加優(yōu)勢

      ①采用I·RISE，我們的智能上升速率：結合氦氣噴涂方法提供設備內增壓測試

      ②在 10 秒內完成上升速率測量

      ③有助于*大限度地減少泄漏測試和晶圓廠設備維護的一般時間

       ④速度更快，精度更高

3，I-CAL （智能 - 泄漏率計算算法） 確保對所有測試范圍內的泄漏做出快速響應。

4，特殊的多進口渦輪分子泵可以在所有壓力下提供*佳氦氣泵速和高氦氣壓縮率，從而提供超卓靈敏度、快速響應和清洗。

5，前置渦輪分子泵可以對任何測試對象（包括*大容量和*大腔室）提供極其快速的響應。

6，經過領域驗證的 INFICON 扇形磁場質譜儀采用沒有**、免維護設計，歷經數(shù)年仍可提供準確且可重復的結果。

7，自我保護功能可保護 UL6000 免受氦氣和粒子污染，甚至還設有自動沖凈周期，確保 UL6000 隨時可用。

8，旋轉式顯示器/控制接口和可選遠程手動控制器提供操作靈活性。

9，可通過軟件啟用對裝置和系統(tǒng)軟件的訪問控制，從而阻止未經授權地使用或意外修改測試設定。

10，通過電子郵件升級軟件，確保您的 UL6000 始終處于*佳工作狀態(tài)。

11，新型工作站設計，帶有*佳高度的工作臺面，并且配備有防靜電臺墊和工具箱，便于測試。

典型應用

1，半導體和平板顯示器工具上測試元件、部件和大型腔室泄漏測試

2，半導體和平板工具泄漏測試

3，航空元件、部件和系統(tǒng)泄漏測試

4，儲存容器/儲罐的泄漏測試