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文章詳情

聚焦光伏行業應用系列三---英福康氦氣檢漏黃金組合

日期:2025-07-27 04:19
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摘要: @page Section1 { size:595.3pt 841.9pt; margin:72pt 90pt } div.Section1 { page:Section1 } 孔文靜 企業用戶_1363065637 0 157260480 2025-07-16T08:10:48Z 2025-07-16T08:15:31Z 7 0 0 0 0 0 0.0000 9F99700EAB3E4047A181D95FD9273521_12 2052-12.1.0.21915 eyJoZGlkIjoiNWU3YmNkMGUyOWJiYmNmNDQzMDA3NjczOTJjZGRkZDciLCJ1c2VySWQiOiIxNTk1NzA5NzUyIn0=

 

在光伏產業向高效化、智能化轉型的關鍵期,INFICON 作為全球真空測量與薄膜控制領域的技術**者,正以多元化產品矩陣重塑太陽能制造的底層邏輯。從鈣鈦礦電池量產突破到真空環境精密控制,從薄膜沉積技術到全流程協同優化,我們將通過系列文章,逐層拆解 INFICON 不同產品與技術在太陽能制造中的深度應用

系列第三篇

本文是繼 INFICON 薄膜沉積控制技術,真空測量方案后的第三篇文章,揭秘氦氣泄漏檢測實踐在太陽能領域的深度應用


太陽能電池技術飛速發展,晶體硅電池效率持續突破,鈣鈦礦電池加速崛起。CVD/ALD/PVD等關鍵設備極大優化了電池性能,但設備泄漏問題成為重大挑戰。以PECVD設備為例,泄漏會導致反應腔內氣體成分和壓力失控。在HJT(異質結)電池制造中,這將造成非晶硅鈍化層生長不均,使電池的開路電壓和填充因子下降,光電轉效率可降低不少。


 面對如此嚴峻的泄漏挑戰,INFICON推出由UL系列檢漏儀(UL1000/3000/6000)、SMART-Spray智能噴槍和I-BOOST加速系統組成的氦氣檢漏方案,為設備真空系統提供保障。

UL系列檢漏儀:給光伏設備做 “全身 CT” 的精密儀器

INFICON的UL系列(UL1000/3000/6000)檢漏儀堪稱檢漏界的 “精密大師”,檢測精度可達 10?12mbar?l/s,能夠精準捕捉到極其細微的泄漏。無論是高真空環境,還是中低真空區域,它都能從容應對,為不同工藝環節的設備提供可靠的檢測數據。




SMART-Spray智能噴槍:靈活的“漏點偵察兵”

SMART-Spray摒棄了傳統的軟管連接,用無線設計,配備可充注微型氦氣瓶(HeliCan)能夠輕松深入PECVD/PVD設備縫隙等傳統手段難以觸及的區域,極大地提高了檢測的靈活性和覆蓋范圍讓漏點無處遁形。

同時,它具備精準定量噴射功能,可根據實際需求**控制氦氣噴射量,避免因氦氣過量或不足影響檢測結果。其集成的 1.8 英寸彩色顯示屏能實時顯示漏率數據,配合遙控器,操作人員無需靠近危險或高溫區域,就能遠程操控檢測過程,既提高了檢測效率,又保障了人員**。

 

I-BOOST:檢漏儀的“超級加速器”

以前給 PECVD 腔體檢漏像等公交車,得熬很長時間才能出結果。現在 I-BOOST 一啟動,就像給檢漏儀裝上了火箭引擎。這個“超級引擎”改變了傳統檢測大容積腔體耗時長的局面。它通過優化算法和硬件,將氦氣響應速度提升數倍能在極短時間內快速捕捉泄漏信號。

 

 

結語


INFICON這套黃金組合不僅是檢漏工具,更是工藝控制與效率突破的技術樞紐:

UL系列實現全量程覆蓋,量化壓力波動數據;

1,SMART-Spray 無線精準定位漏點;

2,I-BOOST 極速響應,使真空檢測從“事后排查”升級為“實時智能調控”。

3,在光伏邁向TWh時代的進程中,它們以**真空精度,支撐TOPCon、HJT、鈣鈦礦等新一代電池技術的產業化高度,澆筑可持續發展的“真空基石”。


敬請期待系列文章的下期內容:英福康RGA四級質譜在線分析技術在太

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